能谱图的横坐标代表的是X射线能量，单位是keV，不同元素电子跃迁所需要的激发能量是不同的，因此从根据谱峰的横坐标位置可以确定元素的种类。

纵坐标cps/eV代表的是信号强度，根据检测到的信号强度，与存储在软件中的标准值进行比较，经过校正后就可以得到该元素的含量。值得注意的是，谱峰的高度与元素含量并非直接正相关，即在谱图中看见最高的峰，不一定是含量最高的元素。

能谱分析每个元素会有多个谱峰，谱峰数量是由元素的电子层数量决定的，电子层数越多，其谱峰也越多。定量分析时，会根据元素的不同选择其中最合适的一个谱峰计算元素含量。因此，谱峰数量的多少与元素含量没有关系。