我们经常会遇到一个问题：“我的xxx可以被聚对二甲苯涂层吗？” 可以用聚对二甲苯涂覆的基材表面数量很多。在下表中列出了使用聚对二甲苯保形涂料的许多工业应用。这些示例可以扩展。

表：使用聚对二甲苯保形涂层的设备示例。

基材表面/聚对二甲苯相互作用/基材表面准备，界面清洁度，表面能：通过Parylene CVD沉积，可以在几乎所有类型的材料上获得无应力和无缺陷的保形涂层。这种涂层的一些例子在图中示出。

（a）在汽车工业中使用的传感器可能容易受到高温，碳氢化合物，湿气的影响。这种环境会导致传感器的铝制接触垫快速腐蚀。在这些垫上使用聚对二甲苯可以保护它们，并且很常用[1]。

（b）聚对二甲苯还可以用作MEMS器件的掩膜材料，因为它具有填充缝隙的能力，在底切下填充的图像中，它可以作为间隔物以生产100 nm宽的纳米线（插图）。在该研究中，它与聚合物抗蚀剂，硅，碳化硅和铂形成界面[2]。在图（c和d）中，我们看到可以使用聚对二甲苯代替玻璃包装，从而减小了包装的尺寸和重量。此外，聚对二甲苯可以与其他薄层（如SiO2）结合在一起形成多层涂层如图2所示。应用和可能性的多样性使聚对二甲苯成为极具吸引力的保形涂料。

但是，在开始沉积过程之前，需要执行一些步骤。为了防止分层，针孔，裂缝，皱纹，水泡和其他类型的薄膜缺陷，不同类型的表面需要不同的表面处理。我们讨论以下一些常见类型作为要点：

聚对二甲苯/材料系统示例：

• PCB：聚对二甲苯最常见的应用领域是PCB，作为电子组件，焊点和电线的保护涂层。它形成了一层保护层，以防止机械冲击和腐蚀性元素的扩散[11]。

• 硅晶圆：晶圆键合中间层[12]，作为硅化学蚀刻的掩模[13]，

• 陶瓷/玻璃：A-174硅烷溶液预处理可以改善Parylene-C薄膜在平板玻璃基板样品上的附着力[14]。

• 金属/合金：聚对二甲苯广泛用于涂覆传感器垫。（图（a）显示了一个塑料封装的硅压力传感器[1]）。聚对二甲苯本身与贵金属（如金和铂）的粘合性较差。为了促进它们的粘合，可以使用市售的粘合促进剂，据报道，在这种界面上粘合强度提高了100倍，并观察到了相应的耐湿气剥离性提高[15]。

• 聚对二甲苯–金属–聚对二甲苯夹层结构可作为柔性电极，传感器生产，通常作为生物相容性植入物生产[16] – [18]。

• 聚对二甲苯-聚对二甲苯的沉积是可能的，但需要进行后处理才能通过热处理形成化学稳定的界面[16]，[19]。

• 聚合物：光致抗蚀剂上的聚对二甲苯C可以通过改善抗蚀剂的粘附力来实现，聚对二甲苯可以引入改进的硅烷化预处理，包括热处理以从抗蚀剂表面去除羟基。[2]

• 在油上：当油的蒸汽压低（<5 Pa）时，可以在顶部沉积聚对二甲苯[3]。涂在油上的聚对二甲苯应力很小，可以忽略不计[4]。聚对二甲苯上油沉积法（CVD）已用于制备长期可植入的压力传感器[5]，从油中提取光学透镜[6] – [8]并通过在沉积后分离聚对二甲苯来制备隔离的聚对二甲苯膜[9]，[10]。