光学薄膜基本工艺讲义PPT(114页)

  • 介绍光学薄膜性能及制作工艺
    作者:中国科学院上海技术物理研究所  周东平
     
    目录
    第一讲真空系统的基本知识
    第二讲制备技术
    第三讲镀膜工艺
    第四讲薄膜材料
    第五讲膜厚监控
    第六讲电子枪和离子源工作原理和作用

  • 928.81KB
  • 科研开发
  • 2020-02-27
  • 电子电气;材料分析