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电子器件失效分析流程

嘉峪检测网        2025-08-20 20:21

电子元器件从设计到使用的全生命周期中,失效分析(Failure Analysis, FA)是确保可靠性的核心环节。它如同电子世界的"法医学",通过系统化的方法揭示器件失效的真相。本文将侧重说明失效物理分析(PFA)的基本程序、常见失效模式与机理,以及关键注意事项,带您走进精密电子器件的微观世界。

 

一、失效分析常规程序

分析失效器件的每个步骤都应获得必要的信息。很多分析步骤是破坏性的,无法重复进行(是一次性的)。所以应按程序小心进行,先进行“非破坏性”分析、后采取开封、切片等“破坏性”分析手段,防止将“元凶”弄掉或带入新的破坏因素。

开封前检测

失效信息收集:调查失效现象、使用环境、历史数据

外观检查:观察丝印标识、外观引脚、损伤、腐蚀等

电特性测试:半导体特性IV曲线测试

X_Ray/声扫:观察器件内部键合、引线、是否分层、损伤等

密封性测试:检测管壳气密性(针对部分器件)

失效模式分类:初步判定开路、短路、参数退化等类型

管壳开封处理

采用化学或机械方法开启封装:

• 塑料封装:发烟硝酸/硫酸腐蚀

• 金属/陶瓷封装:精密机械开封

关键要求:避免引入新损失或污染

开封后微观分析

根据情况采用以下部分手段:

•  显微检查:观察芯片工艺缺陷

•  扫描电镜:大景深高分辨率观察

•  去钝化层:去除铝膜或SiO₂膜

•  剖面分析:磨角染色观察

•  材料分析:SEM/EDS成分检测

报告与结论

•  整理数据,形成失效分析报告

•  明确失效模式和失效机理

程序要点提示:

1. 分析具有破坏性且不可逆,必须按顺序谨慎操作

2. 每个步骤需获取充分信息后再进入下一步

3. 根据器件和失效情况选择适用的设备仪器和手段

4. 明确失效机理为进一步开展根因分析提供依据

 

二、失效模式与机理:半导体的"疾病谱"

常见失效模式

失效模式就是失效的形式,即表现出来的特征。它可以分为六大类:开路、短路、功能丧失、特性退化(劣化)、结构材料不良、重测合格。

失效模式

典型失效表现案例

造成的影响

短路

介质击穿(如电容介质层破裂、PCB基材碳化)

电流异常绕过设计路径,局部过流

金属迁移(如银离子迁移、电化学枝晶生长)

形成导电通道,电路异常导通

过压击穿(如MOS管漏源极雪崩击穿)

瞬间短路、烧毁元件

污染导电(助焊剂残留、金属碎屑桥接)

非设计路径导通

开路

引线断裂(键合开裂、导线脱离)

电路中断

材料断裂(焊点疲劳、保险熔断)

物理连接失效,电路不通

界面分离(LED芯片与基板分离)

热阻增大或信号传输中断

腐蚀断路(PCB铜箔硫化发黑)

导电层完全氧化阻断电流

功能丧失

固件错误(程序逻辑缺陷、存储器损坏、Flash改写)

设备无法启动或执行基础操作

电源失效(电源输出异常)

供电不足或过压保护触发

核心元件死机(MCU失效、时钟停振、复位无效)

系统宕机

特性退化/劣化

阻值漂移(碳膜氧化、湿气侵入)

参数偏离设计范围,性能下降

光效衰减(LED封装材料褐变)

亮度降低或色温偏移

漏电流增加(PN结热损伤或离子污染)

功耗增大、寿命降低

机械磨损(接插件多次插拔)

阻抗增大、功耗增大、增大压降

结构材料不良

腐蚀穿孔(晶间腐蚀、点蚀)

结构强度丧失或密封失效

变形失效(塑性变形、蠕变下垂)

装配精度下降或功能受限

分层开裂(封装气泡膨胀、热应力剥离)

密封性破坏或机械强度降低

异物污染(硅片颗粒、封装杂质)

短路风险或光学性能下降

重测合格

接触不良(连接器氧化、插座弹片松弛)

间歇性功能中断

环境敏感性(热胀冷缩引发BGA焊球微裂纹)

温度波动时功能不稳定

信号干扰(电磁噪声耦合误触发)

误动作或重启后恢复

失效机理深度解析

失效机理是器件失效的实质原因,即引起器件失效的物理或化学变化过程。

失效机理

物理/化学影响过程

设计缺陷

器件版图、工艺方案、电路和结构等方面的设计缺陷

体内劣化

二次击穿、CMOS闩锁效应、中子辐射损伤、重金属沾污和材料缺陷引起的结特性退化、瞬间功率过载等。

表面劣化

钠离子沾污引起沟道漏电、γ 辐照损伤,表面击穿(蠕变)、表面复合引起小电流增益减小等

金属化劣化

金铝合金、铝电迁移、铝腐蚀、铝划伤、铝缺口、台阶断铝、过电应力烧毁等

氧化层缺陷

针孔、氧化层厚度不均匀、接触孔钻蚀、介质击穿等

键合缺陷

键合颈部损伤、键合强度不够、键合面沾污金-铝合金、键合位置不当、键合丝损伤、键合丝长尾、键合应力过大损伤硅片

封装劣化

管腿腐蚀、管腿损伤、漏气、壳内有外来物引起漏电或短路、绝缘珠裂缝、标志不清

使用不当

静电损伤、电浪涌损伤、机械损伤、过高温引起、干扰信号引起、焊剂腐蚀管脚等

 

三、失效分析实验室:专业装备配置

基础分析设备配置

设备类型

仪器名称

主要功能

观测设备

立体显微镜、金相显微镜(带摄影)

微观结构观察、缺陷定位

电特性测试设备

特性曲线图示仪、集成电路测试仪、示波器、数字电压表、直流电源、电流表、小信号发生器、脉冲发生器、电容表等

电性能验证、参数分析

试验设备

高温箱、低温箱、微拉力计(测量键合丝拉力)和检漏设备

环境模拟、键合强度测试

解剖工具及辅助设备

机械微探针、管壳开启器、研磨设备及夹具、超声波清洗器、电炉和常用工具(齐套)

样品处理、截面制备

化学处理间

需备注通风柜。去除塑料或树脂的发烟硝酸、发烟硫 酸,去除铝的 NaOH和稀硫酸等,去除钝化层的光刻腐蚀液(或氢氟酸加氟化铵溶液),PN结染色液(按方配制),硅材料选择性腐蚀液(sirt腐蚀液),无水乙醇和丙酮等有机溶剂

材料去除、染色分析

安全防护用品

橡胶手套、防护眼镜、防护工作服、护面等

保护操作分析人员

高端分析设备(外协)

有些失效分析设备(扫描电镜、透射电镜、X射线微探针、离子微探针、红外微热像仪、X射线光电子能谱仪等)非常昂贵,可以向拥有这些设备的单位采取外协的方式,租用或委托使用他们的设备开展失效分析。使用这些设备的分析的费用也较高,应周密考虑选择合适的分析设备,只对具有代表性的个别关键性样品进行某项失效机理分析。

 

四、失效分析黄金准则

操作注意事项

• 保护失效样品:非专业人员不要擅自拆卸器件,避免对失效器件施加额外机械/电/热应力

• 充分调查了解:详细了解失效器件的使用条件、失效过程、失效数量、历史数据

• 设备适配性:根据分析目标选择最合适设备(避免过度使用高端设备)

分析人员要求

• 掌握半导体物理、器件设计、工艺制程等专业知识

• 熟悉失效机理理论与分析技术

• 具备交叉学科知识(材料科学、化学分析)

• 接受专业培训(失效分析技术、化学安全)

协作机制

• 建立设计-制造-使用三方协作平台

• 定期召开跨部门失效分析会议

• 共享失效数据库与改进方案

 

五、结语

失效分析是融合材料科学、电子工程、物理化学的交叉学科,其实质是通过系统方法揭示失效的物理化学本质。精准的失效分析不仅能解决当前问题,更能推动设计改进、工艺优化和可靠性提升,形成"分析-改进-验证"的质量闭环。在半导体技术飞速发展的今天,失效分析已成为保障电子产品质量的核心竞争力。

 

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来源:易瑞来可靠性工程