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介绍光学薄膜性能及制作工艺 作者：中国科学院上海技术物理研究所 周东平 目录 第一讲真空系统的基本知识 第二讲制备技术 第三讲镀膜工艺 第四讲薄膜材料 第五讲膜厚监控 第六讲电子枪和离子源工作原理和作用
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