| 洁净室 |
温度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 附录E.5 |
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| 洁净室 |
温度 |
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 GB/T25915.3-2024/ISO 14644-3:2019 附录B.5 |
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| 洁净室 |
截面风速不均匀度 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 附录E.3 |
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| 洁净室 |
空气洁净度级别（悬浮粒子） |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 附录E.4 |
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| 洁净室 |
风量（换气次数） |
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 GB/T25915.3-2024/ISO 14644-3:2019 附录B.2 |
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| 洁净室 |
静压差 |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 附录E.2 |
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| 洁净室 |
静压差 |
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 GB/T25915.3-2024/ISO 14644-3:2019 附录B.1 |
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| 洁净室 |
风速 |
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 GB/T25915.3-2024/ISO 14644-3:2019 附录B.2 |
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| 洁净室 |
风量（换气次数） |
洁净室施工及验收规范 GB50591-2010 附录E.1 |
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| 洁净室 |
高效过滤器检漏 |
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法 GB/T25915.3-2024/ISO 14644-3:2019 附录B.7.1.2 |
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