| 洁净室及相关受控环境 |
温湿度波动范围 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
区域温度差和区域湿度差 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
噪声 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
噪声 |
洁净厂房设计规范 GB 50073-2013 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
照度 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
照度 |
洁净厂房设计规范 GB 50073-2013 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
围护结构严密性 |
洁净室施工及验收规范 附录G GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
微振 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
表面导静电性能 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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| 洁净室及相关受控环境 |
气流 |
洁净室施工及验收规范 附录E GB 50591-2010 |
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